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主要仪器设备
超高真空多功能磁控溅射设备（JGP450，沈阳中科仪）
荧光光谱测量系统（FL920，英国Edinburgh仪器）
电容－电压（C-V）测试仪（4284A，美国Aglient公司）
掩膜对准光刻机（H94-17G，四川南光）
X射线衍射仪（Y--4Q，中国/丹东射线仪器公司）
非晶态金属扩薄仪（SP-FJ400，中国/沈阳摩擦片厂）
扫描电子显微镜 (KYKY－2800，中科科仪)
原子力显微镜 (Solver P47H，Russia /NT-MDTCO)
多功能岩心驱替装置(DY-III型 )
微流动实验装置
蓄电池恒流放电装置(力兴LX-PCBT-138-8D ,力兴LX-PCBT-188-8D)
微观显微镜(XSP-8CA生物显微镜,4XC倒置金相显微镜 )
CS-150超高真空测试设备（常熟虞华）
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